Microfab macht kleine Dinge noch kleiner
Mikrosystemtechnik: Chip mit Ohren

Aus dem wattierten Briefumschlag kullert ein merkwürdiges Bauteil im Format eines Kronkorkens. Auf der Oberfläche klebt ein unscheinbares braunes Plättchen, aus der Rückseite ragen ein paar dünne Beinchen.
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DÜSSELDORF. "Das ist der Prototyp eines Beschleunigungssensors", sagt Thomas Stärz, 35, einer der beiden Geschäftsführer der Bremer Microfab GmbH und kramt in dem Umschlag herum. Außer dem Anschreiben zieht er eine CD-ROM heraus mit den Prinzipskizzen des Sensors. "Aus diesem Ding hier sollen wir ein winziges Bauteil machen, das auf meiner Fingerkuppe wie verloren aussieht."

Kleine Dinge noch kleiner zu machen, das ist die Spezialität von Stärz, seinem Mitgeschäftsführer Jörn Koblitz, 40, und ihren rund 20 Mitarbeitern. Ideen, Skizzen und Prototypen setzen sie um in mikrosystemtechnische Bauteile wie Sensoren und neuerdings Mikrofone aus dem Chiprohstoff Silizium.

Bisher entwickelten sie nur die Produktionstechnik und stellten die Winzlinge dann in Kleinserien her. Die Massenfertigung übernahmen die Auftraggeber. Das Labor, in dem sie arbeiten, gehört der Universität Bremen, die es nur tagsüber nutzt. "Für uns sind die Nachtschichten reserviert", schmunzelt Koblitz.

Einstieg in die Massenproduktion

Jetzt haben die beiden Geschäftsführer einen dicken Fisch an Land gezogen. Der dänische Akustikspezialist Sonion beauftragte sie, die Produktionstechnik für ein neuartiges Siliziummikrofon auszutüfteln, das Wissenschaftler der Technical University of Denmark in Lyngby entwickelt haben. Erstmals sollen die Bremer dann in die Massenproduktion einsteigen. Die Dänen wollen ihnen 2003 zunächst zwei bis drei Millionen Mikrofone abnehmen. 2005 sollen es schon 70 Millionen Stück. Nach und nach sollen die Chips mit Ohren die konventionellen Mikrofone in Mobiltelefonen, Laptops und Hörgeräten ersetzen.

"Die Mobiltelefonhersteller werden sich um unsere Mikrofone reißen", glaubt Stärz. Sie lassen sich nämlich zeitgleich mit den übrigen Bauelementen auf den Platinen festlöten, sodass ein kompletter Arbeitsgang wegfällt. Die konventionellen Mikrofone müssen, weil sie hitzeempfindlich sind, nachträglich eingesetzt werden.

Als der Auftrag im vergangenen Jahr einging, gehörte das Unternehmen Microfab noch dem Institut für Mikrosensoren, -aktuatoren und-systeme an der Universität Bremen. Es wurde Anfang der Neunzigerjahre gegründet, um den damals katastrophalen Ruf der Bremer Universität aufzupolieren. Bremen spendierte 50 Millionen Mark für den Bau einer hochmodernen Fertigungsstätte. Die Hochschulleitung engagierte Professor Wolfgang Benecke, Spezialist für Mikrosensorik in der Fraunhofer-Gesellschaft, und, als Signal für die Industrie, Professor Josef Binder aus dem Siemens-Bereich Automotive.

Universitätslabore kommerziell genutzt

Auch wenn die beiden Professoren mit Feuereifer darangingen, den Ruf der Bremer Universität zu verbessern: Sie und ihre Studenten konnten die weitläufigen Labors nicht rund um die Uhr nutzen. Da kamen sie auf die Idee, sie zusätzlich kommerziell einzusetzen. Sie heuerten die Ingenieure Koblitz und Stärz an. Das Unternehmen besetzte mit der Entwicklung von Produktionstechniken und dem Bau von Kleinserien eine lukrative Nische, denn für derart kleine Mengen lohnt es sich nicht, die großen Anlagen von Bosch, Siemens oder Infineon anlaufen zu lassen.

Das Geschäft ging gut, das Ansehen des High-Tech-Unternehmens wuchs. Die Einnahmen reichten für die Beschaffung der jeweils neuesten Produktionsanlagen aus. Davon profitiert wiederum die Universität, weil sie die teuren Geräte mitbenutzen darf, aber nicht selbst kaufen muss.

Der Großauftrag aus Dänemark wirbelte das Unternehmen dann kräftig durcheinander. Zur Finanzierung der notwendigen Investititonen waren die Bremer Aufbau-Bank und das traditionsreiche Bremer Bankhaus Neelmeyer bereit - unter der Voraussetzung, dass aus Microfab ein lupenrein privatwirtschaftliches Unternehmen werden musste. Die Universität sollte sich völlig zurückziehen. Für Koblitz und Stärz gab es kein Zögern: Sie kauften kurzerhand das Unternehmen. "Wir hatten schon vorher daran gedacht, uns mit Microfab selbstständig zu machen", gesteht Stärz, "einfach um flexibler reagieren zu können." Die Banken beteiligen sich mit jeweils 1,5 Millionen Euro an Microfab. Die stecken die Geschäftsführer jetzt in Maschinen für die Produktion der neuartigen Mikrofone. Wie Speicherchips und Mikroprozessoren entstehen sie in rund 100 chemischen, optischen und physikalischen Arbeitsschritten auf Wafern, dünnen Siliziumscheiben.

Der Auftrag der Dänen wird den Umsatz explodieren lassen. 2001 waren es 1,2 Millionen Euro. "In diesem Jahr verdoppeln wir unseren Umsatz", verspricht Stärz. Mittlerweile bearbeitet Microfab mit gut 20 Mitarbeitern ständig rund 100 Aufträge.

In der Branche kursieren Gerüchte, dass auch die Siemens-Tochter Infineon ein Siliziummikrofon entwickelt. Ob das den Geschäftsführern Sorgen macht? "Überhaupt nicht", sagt Koblitz. "Das zeigt, dass wir ein interessantes Produkt haben. Sorgen machte ich mir nur, wenn wir allein dastünden."

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