Philips will weltweit führende Rolle bei der Chipherstellung einnehmen
Philips will Chipherstellung revolutionieren

Der Elektronikkonzern Philips entwickelt nach eigenen Angaben eine neuartige Lichtquelle, die die Herstellung von Computerchips revolutionieren soll.

Reuters HAMBURG. Der Elektronikkonzern Philips entwickelt nach eigenen Angaben eine neuartige Lichtquelle, die die Herstellung von Computerchips revolutionieren soll. Wie die deutsche Tochtergesellschaft Philips GmbH am Freitag in Hamburg mitteilte, wird die neue Fertigungstechnik gemeinsam mit der Münchener Fraunhofer-Gesellschaft entwickelt, die zu 20 % an dem Projekt beteiligt ist.

Den Angaben zufolge entwickelt das Gemeinschaftsunternehmen eine Lampe, die extrem ultraviolettes (EUV), kurzwelliges Licht ausstrahlt. Dieses wird auf lichtempfindliche Siliziumscheiben gerichtet und soll sehr viel kleinere Strukturen auf den Chips als das bisher übliche Verfahren ermöglichen. Mit dieser neuen Technologie will Philips eine weltweit führende Rolle auf dem Zukunftsmarkt für Chips einnehmen, die den Angaben zufolge ab 2007 in Serienfertigung gehen sollen.

Bei der Herstellung von Computerchips wird wie bei einem einem Diaprojektor Licht durch eine Maske auf eine mit lichtempfindlichem Fotolack beschichtete Silizium-Scheibe gerichtet. So werden die Strukturen auf das Silizium übertragen. Je feiner die Strukturen sind, desto kurzwelliger muss das dabei verwendete Licht sein. Derzeit setzt die Industrie Ultraviolett-Laser mit Wellenlängen von 248 Nanometern ein. Ab 2003 sollen Lampen mit Wellenlängen von 157 Nanometern verwendet werden, die Strukturbreiten auf dem Silizium-Chip von 65 Nanometern ermöglichen. Um noch kleiner Strukturen erzeugen zu können, sind völlig neue Lichtquellen erforderlich.

Die EUV-Lampen sollen bei Philipps in Aachen hergestellt werden. Das weltweite Marktvolumen für das Jahr 2010 schätzt Philips auf viele hundert Mill. Euro.

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