Herstellung von Leistungshalbleitern
Nanoschalter steuert Dioden oder Motoren

Forschern von Infineon Technologies ist es erstmals gelungen, Kohlenstoff-Nanoröhrchen auch für die Herstellung von Leistungshalbleitern zu nutzen.

HB/hsn MÜNCHEN. Die Wissenschaftler des Halbleiter-Herstellers aus München präsentierten einen Schalter aus Nanoröhrchen, der Leuchtdioden oder Elektromotoren steuern kann. Nanoröhrchen sind winzige Schläuche aus Kohlenstoff- Atomen mit einem Durchmesser von einem Millionstel Millimeter – das Haar eines Menschen ist etwa 100 000 Mal dicker.

Die Innovation gilt als Durchbruch für die Nanotechnik, da Wissenschaftler bisher davon ausgegangen sind, dass sich die winzigen Bauteile nicht für die hohen Spannungen und Stromstärken in Leistungshalbleitern eignen. Mit Leistungshalbleitern aus Kohlenstoff-Nanoröhren könnten Stromschalter eines Tages sehr viel kleiner und preiswerter hergestellt werden als bisher, sagen die Forscher. Noch befinden sich die Leistungstransistoren aus Kohlenstoff-Nanoröhrchen im Stadium der Grundlagenforschung. Wann sie kommerziell in großen Stückzahlen produziert werden können, ist noch offen.

Auch andere Halbleiterunternehmen wie IBM oder NEC forschen intensiv an der Integration von Nanoröhrchen in die Halbleiterfertigung. IBM-Wissenschaftler des Watson Research Center in Yorktown Heights haben im Sommer 2003 mikroskopisch kleine Infrarot- Leuchtdioden aus Kohlenstoff-Nanoröhrchen hergestellt. Mit diesen Nano-LED könnten eine Tages optoelektronische Baugruppen in Mikrochips integriert werden. Und NEC hat im Herbst vergangenen Jahres ein Verfahren zur Herstellung von integrierten Nanoröhrchen-Transistoren vorgestellt. Diese Technik soll bis 2010 die Herstellung hochintegrierter, ultraschneller Nano- Schaltkreise ermöglichen.

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