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Premium Halbleiterfertigung Wie extrem ultraviolettes Licht die Chipproduktion revolutioniert

Ohne die Optik von Carl Zeiss und die Laser von Trumpf gäbe es die EUV-Technologie nicht. Mithilfe der Deutschen ist der größte Technologiesprung seit Jahren gelungen.
07.05.2021 - 04:00 Uhr
EUV-Laser schaffen es, feinere Strukturen auf Chips zu belichten als bislang. Quelle: ASML
EUV Lithographie Maschine

EUV-Laser schaffen es, feinere Strukturen auf Chips zu belichten als bislang.

(Foto: ASML)

Stuttgart In den meisten Bereichen der Chipbranche spielt Europa nur in der zweiten Liga, wenn überhaupt. Nicht so beim Produktionsverfahren EUV: Nach 15 Jahren Entwicklung ist der größte Technologiesprung in der Chipindustrie seit Jahren gelungen. Das Verfahren verwendet Extrem Ultraviolettes Licht und ermöglicht es, Chips mit Strukturgrößen von unter sieben Nanometern wirtschaftlich zu produzieren.

Es ist die Geschichte einer beispielhaften europäischen Industriepartnerschaft. Das Gerät stellt die niederländische Hightech-Schmiede ASML in Veldhoven her. Die Maschinen, selbst im Fachjargon „Scanner“ genannt, sind Giganten aus Edelstahl von der Größe eines Linienbusses. Stückpreis: mehr als 200 Millionen Euro. Die Schlüsseltechnologie kommt aber aus Schwaben: Carl Zeiss liefert die hochsensible Optik und Trumpf die passende Lasertechnologie.

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